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电感耦合射频等离子体实验装置
电感耦合射频等离子体实验装置
仪器编号
20090307
规格
*
生产厂家
杭州大华仪器制造有限公司
型号
DHRP-1
制造国家
中国
分类号
08023103
放置地点
西区理学楼C106
出厂日期
2009-03-23
购置日期
2009-03-23
入网日期
2022-11-28

主要规格及技术指标

真空度可达1-5Pa,采用石英玻璃样品管,500W射频源,电感耦合的方式产生等离子体,2路进气管路。

主要功能及特色

采用电感耦合的方式产生等离子体,可进行等离子体表面改性,等离子体杀菌、消毒,气相沉积等方面研究工作。

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期