真空度可达1-5Pa,采用石英玻璃样品管,500W射频源,电感耦合的方式产生等离子体,2路进气管路。
采用电感耦合的方式产生等离子体,可进行等离子体表面改性,等离子体杀菌、消毒,气相沉积等方面研究工作。
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