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多功能高真空镀膜机
仪器编号
20132449
规格
BMS560B
生产厂家
沈阳科友真空技术有限公司
型号
BMS560B
制造国家
中国
分类号
03060300
放置地点
综合实训中心2号楼120
出厂日期
2013-11-18
购置日期
2013-11-18
入网日期
2023-12-05
主要规格及技术指标
基片尺寸：φ70mm；抽气50分钟可达5.0X10-4 Pa；基片镀膜均匀性≤±5%；样品台3-30转/分范围连续可调；3支φ3英寸磁控靶
主要功能及特色
配有多套磁控靶，配有电动挡板，靶角度可沿轴线调节，可实现共溅射。蒸发源多组，电极水冷，蒸发源之间隔断，且均有独立电动挡板，镀膜均匀性良好。
主要附件及配置
无
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