相机放大倍率50-1000倍;样品台平移距离不小于±3cm,精确至0.1mm;样品台倾转角度不小于±5度,精确至1度;电子枪电压0-8kv,步长0.1kv
利用高能离子束轰击样品,逐步减去样品表面或截面的应力层,以制备出表面无应力切光洁平整的样品。用于EBSD,SEM等设备的样品制备。
样品台、遮光板