分辨率:1.0nm (15kV);2.0nm (1kV, WD=1.5mm);1.4nm(1KV, WD=1.5mm)加速电压:0.5 ~ 30kV,0.1kV/步,普通模式 放大倍率:×10~ ×300,000
利用电子束观察各种样品的表面形貌和微观组织,以及进行微区成分分析和晶体取向分析。
二次电子探头,背散射电子探头,能谱仪,电子背散射衍射仪。