分辨率:1.0nm (15kV)、加速电压:0.2 ~ 30kV,0.1kV/步、 放大倍率:×20~ ×800,000
利用电子束观察各种样品的表面形貌和微观组织,以及进行微区成分分析,分辨率高。
二次电子探头,能谱仪。