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微束定点离子刻蚀仪
微束定点离子刻蚀仪
仪器编号
2025010792
规格
1040
生产厂家
Fischione
型号
1040
制造国家
美国
分类号
011299
放置地点
出厂日期
2026-01-22
购置日期
2025-09-09
入网日期
2026-01-22

主要规格及技术指标

加工离子能量范围:50eV ~ 2keV;离子束束斑尺寸:≤1μm;样品台倾转角度:-12度 ~ +30度,连续可调

主要功能及特色

制备无非晶(损伤)层样品

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期