燕山大学大型仪器共享平台

1. 测量原理：非接触式白光干涉扫描成像；
2. 光源：白光和绿光双LED超清光源；
3. CCD：500万像素，采样点数≥1200*1000；
4. 台阶测试精度：＜0.75%；
5. 台阶高度测试重复性：＜0.1%；
6. RMS重复性：≤0.01nm；
7. 自动样品台：XY轴移动范围150mm，Z轴移动范围100mm；
8. 具有自动缝合功能实现更大面积的扫描，可实现方形、圆形、圆环形、螺旋式等多种拼接缝合方式；
9. 5孔物镜切换塔台，含5倍、10倍、20倍干涉物镜。

主要功能及特色

三维光学轮廓仪可以对样品表面形貌进行三维重构，精确测量样品表面的粗糙度，孔隙率，深度，孔洞直径等信息。由于它具有纳米量级的测量精度，又具有快速三维测量的功能，并有无接触测量等的优点，它不但在教学和科学研究中被广泛地用于测量各种表面微观结构，也正在被广泛地应用于精密加工制造领域。

主要附件及配置

无

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