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主要规格及技术指标
★1.1微区分析（X射线束斑≤5μm）能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰能量分辨≤1.00eV时，计数率强度高于8Kcps； ★1.2 微区分析（X射线束斑≤10μm）能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰能量分辨≤0.60eV时，计数率强度高于50Kcps； 1.3 微区分析（X射线束斑≤10μm）能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰能量分辨≤1.00eV时，计数率强度高于100Kcps； ★1.4 微区分析（X射线束斑≤20μm）能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰能量分辨≤0.60eV时，计数率强度高于200Kcps； 1.5 微区分析（X射线束斑≤20μm）能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰能量分辨≤1.00eV时，计数率强度高于400Kcps； 1.6 大束斑分析（X射线束斑≥100μm）能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰能量分辨≤1.0eV时，光源功率不大于100W条件下，计数率强度高于6Mcps； 1.7 最佳能量分辨率：对Ag3d5/2峰，半峰宽（FWHM）优于0.48eV 1.8 能够执行点分析、线扫描、面分析、化学态成像、深度剖析、角分辨XPS； 1.9 化学态成像模式：快速平行成像或扫描X射线成像，每个像素点都有对应的图谱，可以回溯，实现由谱得图，由图得谱；
主要功能及特色
X射线光电子能谱仪（简称XPS），通过使用X射线入射固体样品表面并采集从样品表面产生的光电子，提供表面的元素成分、元素化学态信息。XPS的分析深度小于10nm，被广泛应用于分析无机化合物、合金、有机高分子化合物、能源电池材料、催化材料等，表征表面成分，表面缺陷（腐蚀，异物，污染，分布不均等），表面多层薄膜等，对于各种材料开发，材料剖析与失效机理的分析和研究具有不可替代的作用。
主要附件及配置
无
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