样品厚度: 1.25 inches 垂直分辨率1.5 Ǻ cm-1横向分辨率: 100 nm可视扫描场:1-4 mm
测量薄膜厚度、样品表面粗糙度以及表面形貌。
电脑,金刚石探针,激光光源及机械传动配件