加速电压稳定度:<0.8ppm/10min;电子束束流:>50 nA;束斑漂移:<1nm/min;放大范围:25-1.5MX;最大会聚焦角 100mrad;最大衍射角24度;双倾台最大倾斜角度30度;最大测角器角度90度;点分辨率≤0.25nm;线分辨率≤0.14 nm;信息分辨率≤0.12 nm
样品内部组织结构观察,高分辨及电子衍射分析;形貌与结构信息兼备,表征结果全面可靠
无