智能能谱:分析元素范围Be4-Am95;能量分辨率优于126ev,0-200kcps范围内的分辨率>90%,轻元素分辨率:C优于52eV, F 优于58ev。 EBSD:最高像素分辨率640*480;标定速度不低于600点/秒;灵敏度:99%;取向精度:0.1度;
化学成分测量及晶体学取向测量;自动化程度高,精度高
无