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扫描电子显微镜
仪器编号
202101262S
规格
TESCAN
生产厂家
沈阳元杰光学技术有限公司
型号
VEGA3 XMU
制造国家
捷克
分类号
03040702
放置地点
东校区建工馆104
出厂日期
2021-05-19
购置日期
2021-05-19
入网日期
2022-11-29
主要规格及技术指标
二次电子分辨率3nm（30kv），8nm（3kv）; 放大倍率3-1000000倍；加速电压0.2-30kv，10v连续可调；钨灯丝电子枪，灯丝使用寿命200h以上；光阑可自动调整；样品室尺寸：内部直径≥160mm，门宽≥120mm，最大样品高度≥36mm；三轴马达自动样品台。样品台移动范围：X≥45mm，Y≥45mm，Z≥27mm，旋转360°，倾斜-90°-90°。具备束斑测量装置及防碰撞报警装置。样品室真空＜9E-3Pa。
主要功能及特色
主要用于微观组织分析，实现微纳米尺度的显微分析功能，配合图形发生器实现电子束曝光功能。
主要附件及配置
无
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