燕山大学大型仪器共享平台

1．扫描器：三方向闭环扫描器；扫描范围：90um x 90um x 10um
2．扫描器的闭环噪音水平：
XY方向闭环噪音水平：<0.15nm RMS值
Z方向闭环噪音水平：<0.035nm RMS值
3．扫描器的开环噪音水平：
XY方向开环噪音水平：<0.1nm RMS值
Z方向开环噪音水平：<0.03nm RMS值
4．仪器的热漂移水平：<0.2nm/min
5．样品台: 210mm直径全自动样品台，真空吸附，可360°旋转。
6．光学辅助观察系统：5百万像素CCD，可缩放放大倍率。

主要功能及特色

原子力显微镜是一种高端的表面显微仪器，它可在纳米级别对样品的三维结构进行成像，并且可以对材料的各种物理属性进行表征，包括力学、磁学、电学等属性。
主要功能：
1．准确地表征样品表面微区(纳米及亚微米尺度)三维形貌。
2．在高分辨成像的同时对样品表面物理化学特性进行研究，包括表面组分区别、表面电势、磁场力、静电力、摩擦力、材料硬度、材料表面导电率等等。
3．能进行纳米尺度的加工，如材料表面的纳米化学刻蚀、纳米器件的装配等等。

主要附件及配置

配置以下的成像模式：
接触模式，轻敲模式，横向力显微镜，相位成像，磁力显微镜，静电力显微镜，开尔文探针显微镜，扭转共振模式，峰值力轻敲模式，智能成像模式，抬起模式，压电响应成像模式，力谱，力谱成像，定量纳米力学性能测试模式，导电原子力显微镜，纳米操纵/刻蚀功能。

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