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探针式轮廓仪
探针式轮廓仪
仪器编号
2023024026
规格
D-600
生产厂家
KLA
型号
D-600
制造国家
美国
分类号
12020221
放置地点
材料馆AA204
出厂日期
2024-03-08
购置日期
2024-03-08
入网日期
2024-06-06

主要规格及技术指标

1、轮廓仪二维数据采集和表面分析软件
单次扫描长度:≥55 mm
垂向量程:0 – 1000 μm
探针力范围:0.03 – 15 mg
2、边界观测光学组件
3760 X 3120μm视场
4X放大
3、自动样品台
直径200 mm样品盘
XY运动范围:150 × 178 mm

主要功能及特色

Alpha-StepD-600探针式轮廓仪支持台阶高度和粗糙度的二维与三维测量,以及翘曲度和薄膜应力的测量。创新的光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量,大范围测量与超微力测量于一体的功能。探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量,与材料特性无关。可调节的探针压力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行精确测量。通过测量粗糙度和应力,可以对工艺进行量化,确定添加或去除的材料量,以及结构的任何变化。

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期