样品尺寸:20mm×20mm×10mm;扫描范围:14×14×2um;50×50×2.5um;最小步长0.002nm
微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力的分布信息,以纳米级分辨率获得样品表面形貌结构信息及表面粗糙度信息。
无