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多功能微波等离子体实验装置
多功能微波等离子体实验装置
仪器编号
20050862
规格
*
生产厂家
杭州大华仪器制造有限公司
型号
DH2004
制造国家
中国
分类号
03140316
放置地点
西区理学楼C106
出厂日期
2005-09-21
购置日期
2005-09-21
入网日期
2022-11-28

主要规格及技术指标

真空度可达1-5Pa,采用石英玻璃样品管,300W微波源,微波耦合的方式产生等离子体,2路进气管路。

主要功能及特色

利用微波等离子体化学气相沉积的方式制备薄膜。

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期