燕山大学大型仪器共享平台

1. 曝光面积：110mm×110mm。
2. 曝光波长：365nm 40mW/cm2。
3. 分辨力：0.8um。
4. 显微镜扫描范围：X:±50mm，Y：±20mm。
5. 对准精度：±0.5um。
6. 掩膜尺寸：3英寸，4英寸，5英寸。
7. 样片尺寸：2英寸、3英寸、4英寸；厚度0.1mm-5mm。
8. 照明不均匀性：2%（直径100mm范围）。
9. 最大胶厚度：350um。
10. 掩膜相对于样片运动行程：X:±5mm，Y：±5mm，θ：±6度。
11. 曝光强度：40mW。
12. 光源平行性：<1.8°。
13. 对准方式：CCD+显示器对准，光学合像，光学+电子放大400倍。

主要功能及特色

紫外光刻机采用LED光源，紫外波长365nm，纯度高、辐照能量均一可调，采用智能化触屏操作面板，具有集成度高，操作简单，光刻工艺效率高的特点。其主要用途包括：
（1）微纳传感器的设计与制备。
（2）微流控芯片的设计与制备。
（3）生物传感/生物微机电系统（BioMEMS）。
（4）芯片实验。

主要附件及配置

无

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