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射频磁控溅射镀膜装置
射频磁控溅射镀膜装置
仪器编号
20130546
规格
*
生产厂家
杭州大华仪器制造有限公司
型号
DHRM-3
制造国家
中国
分类号
03060302
放置地点
西区理学楼B123
出厂日期
2013-05-07
购置日期
2013-05-07
入网日期
2022-11-28

主要规格及技术指标

真空度可达5*10E-3,约1个小时左右,所用靶材:直径2英寸,射频方式溅射镀膜,500W射频源。

主要功能及特色

用射频方式溅射镀膜,仪器小巧,操作便捷。

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期