大尺寸样品台:全自动样品台,直径210mm(移动范围180mm×150mm),厚度15mm。真空吸附,可360度旋转
扫描范围:XY方向扫描范围90um, Z方向10um。
扫描噪音:RMS 0.03nm(垂直方向),横向分辨率:0.1nm (XY方向)
光学系统:500万像素CCD,1.5微米光学分辨率。180μm-1465μm视场区域。
1峰值力轻敲模式
采用力曲线的峰值力作反馈, 可精确控制针尖与样品之间的相互作用力小至几十pN,减少针尖磨损与污染。
2接触模式(Contact Mode)
3轻敲模式(Tapping Mode)
4扭矩共振模式(TR-Mode)
5相位成像模式(Phase imaging)
6智能扫描模式(ScanAsyst)
7 磁力显微镜(MFM)
8 静电力显微镜(EFM)
9 表面电势显微镜(KFM)
10 压电相应显微镜(PFM)
11 力曲线 / 力谱 测量(Force curve/ Force volume)
12 纳米压痕功能(Nano Indentation)
13 纳米刻蚀/操纵功能(Nanolithography/Nanoman)
14 液态成像功能(Fluid Imaging)
与功能相配套的各种附件
公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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