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表面轮廓仪
仪器编号
202205391S
规格
台
生产厂家
Bruker
型号
Dektak XT
制造国家
马来西亚
分类号
12020224
放置地点
轧制设备及成套技术教育部工程研究中心205-207传热学实验室（4）
出厂日期
2023-04-26
购置日期
2023-04-26
入网日期
2023-12-05
主要规格及技术指标
1.最大扫描长度≤55mm。
2.测试所允许的最大样品厚度≤50mm。
3.垂直方向的扫描范围≤1000um。
4.测试高度方向的重复性≤0.4nm（1微米的标准台阶）。
5.测试垂直分辨率≤0.1nm。
6. XY移动载物台，X≤150mm行程,Y≤150mm行程。
7. 探针压力：1-15mg能精确控制探针压力，保证在不同力下不破坏样品。
主要功能及特色
以⾼精度测量样品表⾯形貌，测量范围从⼀纳⽶到⼏百微⽶不等
主要附件及配置
无
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