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激光微纳加工工作站
仪器编号
20173428
规格
μFAB
生产厂家
NEWPORT
型号
μFAB
制造国家
美国
分类号
05010109
放置地点
西区理学楼A107
出厂日期
2017-11-16
购置日期
2017-11-16
入网日期
2023-11-22
主要规格及技术指标
X/Y轴定位精度、双向重复精度≤1.5 μm; ≤0.08 μm。Z轴定位精度、单向重复精度≤3 μm; ≤0.3 μm。光斑大小：高数值孔径物镜 ≤1 μm。激光功率可调：集成软件电动控制激光功率。笔记本电脑：提供。
主要功能及特色
该实验台采用NEWPORT公司的激光微纳加工工作站，实现了激光到微加工工作站的耦合光路，且可根据样品加工功率需要，调节合适的激光能量；电动快门，用于激光关断和开放控制；激光光斑滤波整形；精密物镜及物镜调节机构；样品照明和CCD成像实时监控；长行程，各3条X/ Y方向线和1条Z方向线的超精密电动样品台，XY行程350mm，最小位移10nm，双向重复精度80nm, 具备位置同步输出功能的高性能运动控制器；针对样品的加工、成像、激光功率的调节, 配有实时监控和同步技术。通过配备的外部控制器和CCD成像能够实现被加工样品的实时在线监测和控制。
主要附件及配置
无
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