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电子束蒸发系统
电子束蒸发系统
仪器编号
2023023087
规格
DZS500
生产厂家
中国科学院沈阳科学仪器有限公司
型号
DZS500
制造国家
中国
分类号
03060301
放置地点
西区理学楼C106
出厂日期
2023-06-21
购置日期
2023-06-21
入网日期
2023-10-22

主要规格及技术指标

极限真空度:≤0.06mPa;电子枪功率:4KW-6KW;水冷式坩埚6穴,11ml。电阻蒸发组件2套,1.2KW。

主要功能及特色

采用电子束热蒸发、电阻热蒸发制备各种纳米功能薄膜、器件

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期