交叉点分辨率 3.0 nm,放大倍数40-1000000;样品室内径不小于370 mm,探测器接口数量不少于20个,样品台倾斜范围不小于-15度-90度;样品台到交叉点不小于85 mm
样品表面组织结构观察;制样简单,后续数据分析简单
无