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飞秒激光多维微位移加工与聚焦成像系统
仪器编号
2023006039
规格
600x600x640mm
生产厂家
美国Newport公司
型号
uFAB
制造国家
美国
分类号
03040837
放置地点
综合实训中心2号楼116
出厂日期
2023-04-19
购置日期
2023-04-19
入网日期
2023-12-05
主要规格及技术指标
行程范围：≥100mm*100mm*4.8mm；最小可控位移（X/Y轴）：100mm全行程内达到≤10nm；定位精度（X/Y轴）：100mm全行程内≤+/-0.75μm；双向重复精度（X/Y轴）：100mm全行程内≤+/-0.04μm；单向重复精度（X/Y轴）：100mm全行程内≤0.05μm；最大速度（X/Y轴）：300mm/s；物镜行程范围（闭环控制）：500μm；物镜位移分辨率（闭环控制）：12nm
9、物镜位移重复精度：13nm
主要功能及特色
该设备是一款用于科研中的台式、易于操作的、可对多种材料加工的微加工设备。该设备兼具灵活性、适用性，可在科研实验中稳定、可靠地工作，并且易于操作。它可以和多款激光器集成在一起，这样使得用户可以对各种介电、导电、陶瓷材料进行加工。在特别编制的激光微加工软件的辅助下，二维或三维的微结构也很容易加工实现。
主要附件及配置
无
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