仪器列表
        
                驱动长度-X 最大值/最小值    mm     60/0.1
X方向的最小数据取样间隔    μm     0.125(0.1mm到120mm长度)
标称测量量程(Z)            mm     量程1=1;量程2=0.2
分辨率(Z)                   nm     量程1=16;量程2=3.2
Z轴示值重复性              μm     平面-0.05,曲面-0.05
测针臂长度                  mm      60
针尖大小                    μm     2
Form Talysurf i60粗糙度轮廓仪具有测量表面粗糙度的所有重要内容。包括基本粗糙度和波纹度参数,以及形状误差分析、特征去除、缩放工具和车间应用的全面可编程性,具有以下主要功能:可完成非球面形状参数和粗糙度参数分析,进行实际形状与理论形状比较分析; SAG表格,可按光学软件格式,输出整个面形各点的矢量高和斜率对应表 ;完成未知非球面的逆向工程
无
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