抽真空时间:小于1min;通用电压/频率:100VAC-240VAC/50-60HZ;放气时间:小于5sec;射频源功率:50w。
去除碳氢化合物对TEM和SEM样品台或样品的污染。
等离子清洗机;多功能腔体封头;等离子清洗机适配器。