主要规格及技术指标

具有405nm、532nm、633nm的激光波长，激光器功率可调节。光谱仪焦长600mm,配备三块光栅300/600/1800刻线。光谱分辨率：优于0.8 cm-1；光谱重复性：优于0. 02 cm-1。德国蔡司研究级开放式显微镜，样品台可承重至少5kg；光学显微镜采用科勒照明方式，确保白光反射光谱及其成像测试；全自动光阑开关，可一键式快速聚焦样品表面； 系统配有大范围全自动机械平台：全自动机械平台大于50*50mm，最小步长25 nm； 高精度自动Z轴电机，要求移动范围：>= 25 mm, 最小步长的精度高于15 nm.； 可采集微区白光反射光谱, 白光光谱横向空间分辨率：<= 400 nm.；配备物镜：10倍物镜；50倍物镜；100倍物镜（NA=0.9，工作距离1mm）和50倍长焦物镜。AFM成像功能需包括：接触式AFM/轻敲模式/DPFM模式；压电陶瓷样品台，连续扫描范围为：x、y方向不小于100微米，z方向不小于10微米，三维全量程闭环控制扫描器；xyz非线性度不超过0.03％，扫描精度为：x、y方向优于1 nm，z方向优于0.2 nm；原子力显微镜集成在共聚焦拉曼显微镜上，相互独立，可通过直接切换镜头实现联用，无需移动样品；原子力显微镜与共聚焦拉曼光谱仪由同一软件操控、成像、分析和处理，与拉曼光谱技术联用同区域成像时，可一次扫描同时得到AFM图像和拉曼成像；主动防震工作台：主动隔震频率0.7-1000 Hz，被动隔震频率大于1000 Hz，最大负载不低于150 kg，可自动调节高度；配备20X 物镜，工作距离不小于4 mm。

主要功能及特色

电学高压腔测量与物性测量系统的电学测量功能对接；电学高压腔测量与物性测量系统的电学测量程序兼容。

主要附件及配置

无